红外光学气体传感器及其系统，可以应用在空气质量检测、气体泄露报警、热控制系统、温室效应控制等方面。

该成果在危化品监测、环境安全监测以及有害气体监测等方面有着广泛的应用。山西省 作为中国的能源大省和重要的重工业基地，在有害气体监测以及环境监测等方面有着广泛的需求。

面向危化气体监测的红外气体传感器及其系统研制是一种基于黑硅吸收层的多层纳米 膜探测器及及集参比波长与检测波长为一体的新型光学气体传感器，利用 MEMS  加工技术 在SOI 衬底上采用金属铝诱导的方法制备黑硅结构，作为探测器的红外吸收层；利用溶胶溶 胶-凝胶技术制备多层组合结构的纳米薄膜，采用了金属键合，湿法腐蚀等加工工艺，并完 成窄带滤光片与探测器的集成，完成新型探测器的制备。该成果获得2014年山西省科学技术发明一等奖。