技术项目信息登记表（供给方）

技术项目名称	智能多级爪型免润滑真空泵
行业分类	先进制造
战略性新兴产业分类	高端装备制造产业
6+1产业分类
权属人所属地域	山西省太原市
项目权属 （个人或单位名称）	中北大学

专利情况 有 专利类别 发明 申请日 授权日

意向价格	0 万元
合作方式	技术转让| 技术服务| 技术许可| 技术融资| 技术授权|

商业计划及前景

爪型免润滑真空泵可应用于真空冶金、真空镀膜、真空热处理、航空真空环境模拟、芯 片制备、激光器装备、药物制备、存储设备制造、食品真空包装等行业中，为其提供清洁、高真空环境。

项目简介

智能多级爪型免润滑真空泵是一种通过四级及以上的成对相互啮合却互不接触的爪形转 子同步反向旋转改变泵腔容积进而实现吸排气的新型无油高真空干式真空泵。因其洁净、高 真空、体积小等特性，可广泛应用于光电激光器、半导体制造设备、真空热处理、纳米技术以及微电子机械系统的制造等高精尖行业。

获得资助情况（国家计划课题等）
项目开发阶段	产业化
样品情况	有	样品类型	实物

信息有效期

至

项目联系人信息

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