技术项目信息登记表（供给方）

技术项目名称	纳米光栅高精度位移传感器
行业分类	先进制造
战略性新兴产业分类	高端装备制造产业
6+1产业分类
权属人所属地域	山西省太原市
项目权属 （个人或单位名称）	中北大学

专利情况 有 专利类别 发明 申请日 授权日

意向价格	0 万元
合作方式	技术转让| 技术服务|

商业计划及前景

技术参数   量程 200μm 分辨率 0.5nm     纳米光栅高精度位移传感器样机   技术所依托团队申请并获得国家重大仪器研发计划1项，发明专利授权8项。   该产品可应用在超精密加工、超精密检测行业中，尤其是纳米量级的位移检测中， 比如数控制造业、机器人、航空航天与军工高精密装备、光学显微镜、仪器仪表的加工和装配等领域。

项目简介

纳米光栅高精度位移传感器基于纳米光栅及衍射光干涉原理，实现位移的高精度、高分 辨率测量，本传感器主要特点在于可突破传统莫尔条纹原理对光栅密度的限制，传感器具有抗干扰、抗恶劣环境、易安装等优点。

获得资助情况（国家计划课题等）
项目开发阶段	产业化
样品情况	有	样品类型	实物

信息有效期

至

项目联系人信息

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